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なぜ超低温トラップポンプは高真空装置の排気速度を上げ、真空度を高めることができるのですか?
 

超低温コイル(クライオコイル)を真空チャンバー(真空槽)内またはオイル拡散ポンプ口に配置し、気体の低温凝縮効果によって真空システム内の水蒸気および他のガスをクライオコイル上に迅速に凝縮させることができます。これは真空チャンバー内の圧力を迅速に減少させることで、真空環境の真空排気速度を大幅に短縮し、同時に真空環境の真空度を0.5から1クラスのレベルアップを実現し、生産効率の大幅な改善と製造コストの節約にもつながります。従い、超低温冷却装置は真空業界の良いヘルパーで、真空コーティングシステムでは省エネルギーのパイオニアと呼ばれています。


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